Jan 24, 2024 Eine Nachricht hinterlassen

So reinigen Sie Metallziele

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Der erste Schritt besteht in der Reinigung mit einem weichen, fusselfreien, in Aceton getränkten Tuch.

Der zweite Schritt ist dem ersten Schritt ähnlich: Verwenden Sie zum Reinigen Alkohol.

Der dritte Schritt besteht in der Reinigung mit deionisiertem Wasser. Nach der Reinigung mit deionisiertem Wasser legen Sie das Ziel 30 Minuten lang zum Trocknen bei 100 Grad Celsius in einen Ofen. Es wird empfohlen, zum Reinigen von Oxid- und Keramikzielen ein „fusselfreies Tuch“ zu verwenden.

 

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Der vierte Schritt besteht darin, das Target mit Argongas mit hohem Druck und geringer Feuchtigkeit zu spülen, um alle Verunreinigungspartikel zu entfernen, die im Sputtersystem zu Lichtbögen führen können.

Hinweis: Tragen Sie beim Umgang mit der Zielscheibe saubere und fusselfreie Schutzhandschuhe und vermeiden Sie unbedingt den direkten Kontakt der Hände mit der Zielscheibe.

 

 

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Um Kurzschlüsse und Lichtbögen durch unsaubere Hohlräume während des Sputtervorgangs zu vermeiden, ist es notwendig, die in der Mitte und an beiden Seiten der Sputterspur angesammelten Sputterpartikel regelmäßig zu entfernen. Dies hilft Benutzern auch dabei, kontinuierlich mit maximaler Leistungsdichte zu arbeiten. Führen Sie das Sputtern durch.

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