Chemische Zusammensetzung: Aus reinem Zirkonium (Zr) oder Zirkoniumlegierung (z. B. Zirkonium-Hafnium-Legierung ZR-HF-Legierung).
Strukturelle Form: Zu den häufigen Formen gehören runde Ziele und rechteckige Ziele.
Dimensionale Genauigkeit und Oberflächenqualität: Eine hohe dimensionale Genauigkeit und Oberflächenfinish sind erforderlich. Die Oberfläche sollte glatt, rissfrei sein, ohne offensichtliche Poren und Verunreinigungen.
Dichte: Eine hohe Dichte muss erreicht werden, um Stabilität und Filmqualität während des Sputterns zu gewährleisten.
Hochreinheit Zirkoniumziel -Produktbildanzeige
Zirkoniumziel für die optische Beschichtung
Rotierendes Zirkoniumziel
