Fakten zu Wolfram-Sputtertargets
Zielherstellungsmethode
1. Gießverfahren
Bei der Gussmethode werden Legierungsrohstoffe mit einem bestimmten Zusammensetzungsverhältnis geschmolzen und die geschmolzene Legierungslösung dann in eine Form gegossen, um einen Barren zu bilden, der dann bearbeitet wird, um ein Ziel zu bilden. Gussmethoden erfordern im Allgemeinen das Schmelzen und Gießen im Vakuum. Gängige Gussmethoden sind: Vakuuminduktionsschmelzen, Vakuumlichtbogenschmelzen und Vakuumelektronenbeschussschmelzen. Seine Vorteile bestehen darin, dass das erzeugte Zielmaterial einen geringen Verunreinigungsgehalt und eine hohe Dichte aufweist und für großflächige Ziele verwendet werden kann. Chemische Produktion; der Nachteil besteht darin, dass es schwierig ist, mit herkömmlichen Schmelzmethoden ein Legierungsziel mit einheitlicher Zusammensetzung herzustellen, wenn zwei oder mehr Metalle mit großen Unterschieden in Schmelzpunkt und Dichte geschmolzen werden.
2. Pulvermetallurgie-Methode
Bei der Pulvermetallurgie werden Legierungsrohstoffe mit einem bestimmten Anteil an Inhaltsstoffen geschmolzen, die nach dem Schmelzen erhaltene Legierungslösung wird dann zu einem Barren gegossen, der gegossene Barren zerkleinert, das zerkleinerte Pulver statisch in Form gepresst und dann bei hoher Temperatur gesintert, um ein Zielmaterial zu bilden. Der Vorteil des auf diese Weise hergestellten Zielmaterials besteht darin, dass die Zusammensetzung gleichmäßig ist. Der Nachteil besteht darin, dass die Dichte gering und der Verunreinigungsgehalt hoch ist. Häufig verwendete Pulvermetallurgieverfahren sind Kaltpressen, Vakuum-Heißpressen und heißisostatisches Pressen.
80 % Wolfram-Sputtertargets
80 % W Sputtertargets
